应变又称应变计（strain gauge）是一种常用的传感器，它利用了弹性材料（金属、合金、半导体或者金属陶瓷）的压阻特性来检测被测结构的正应变与剪切应变，它广泛应用 于结构健康监测中，覆盖的应用领域包括土木工程、机械、航天、医疗以及可穿戴系统等。

相比于传统的应变片，硅基谐振式应变传感器具有灵敏度高、温漂小、准数字化输出、抗干扰能力强等特点，是一类高性能的应变传感器。

硅基谐振式应变传感器一般采用双端固支音叉结构（Double Ended Tuning Fork，DETF）的谐振式传感器。通过将两根双端固支梁并联，并使两根梁的振动反相，形成音叉结构，来获得较高的品质因数（Q值）。

目前，硅基谐振式应变传感器的主要问题在于，硅微机械结构受空气阻尼的影响较大，在常压下难以获得较高的Q值，必须采用真空封装，而目前较成熟的微机械真空封装技术一般需要超过400度的高温工艺或者需要使用低渗透率的封装材料并结合吸气剂，这两类工艺与硅基谐振式应变传感结构的兼容性较差。

日本横河电机株式会社研制的高精度谐振式中采用了一种H型谐振式应变敏感结构。该结构采用均质的H型梁，通过电磁驱动使H型梁的4个臂振动，通过电磁检测振动频率随应力的变化。由于该结构为均质硅结构，没有金属引线，可以采用高温的硅外延工艺实现真空封装。但是，该结构必须采用电磁驱动、电磁检测，当用作应变传感器时，电磁铁的封装难度大。